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高真空蒸發鍍膜儀需要怎樣的維護和保養?

來源:中美合資合肥科晶材料技術有限公司   2022年08月12日 17:04  
  高真空蒸發鍍膜儀可提供大100A鍍膜電流,大蒸發溫度高達1800℃,可滿足各種普通金屬和部分非金屬的蒸發。真空室采用高純石英,易于觀察鍍膜過程,易清洗;結合分子泵組,可達到5x10-4pa的極限真空度,有效保證氣相沉積膜的純度和附著力。
  
  全自動程序控制,彩色觸摸屏界面,操作簡單,可鍍金(AU)、鉑(PT)等非氧化性貴金屬,也可鍍銥(IR)、鉻(CR)、鋁(AL)等細小顆粒易氧化膜材料。特別適用于場發射電鏡、透射電鏡樣品制備和非晶碳包覆膜/TEM網格支撐膜的制作,也可為薄膜應用等材料領域提供理想的鍍膜平臺。那么它需要怎樣的維護和保養?
  
  1、高真空蒸發鍍膜儀每完成200道以上的鍍膜工序,應清洗一次工作間。方法是用飽和燒堿(NaOH)溶液反復擦洗真空室壁(注意人體皮膚不能直接接觸燒堿溶液,以免燙傷)。目的是使涂膜材料鋁(AL)與NaOH反應,反應后膜層脫落,釋放氫氣。然后用清水清洗真空室,用蘸有汽油的布擦凈精抽閥內的污垢。
  
  2、粗抽泵(滑閥泵和旋片泵)連續工作一個月(雨季一半)時,需要更換新油。方法是:擰下開油螺栓,排盡舊油,然后啟動泵數秒,使泵內的舊油*排出。擰上回油螺栓,將新油加至規定量(用油視鏡觀察)。連續使用半年以上,換油時應打開油蓋,用布擦凈箱內臟物。
  
  3、高真空蒸發鍍膜儀擴散泵連續使用6個月以上,抽速明顯慢或操作不當。充入大氣,拆下連接水管,拆下電爐板,擰出噴嘴,用汽油清洗泵腔和泵囊,然后用洗衣粉和水清洗,再用水*清洗。待水揮發后,裝上泵膽,加新的擴散泵油,裝回機體,接好水管,裝上電爐板,即可重新啟動。重啟前注意漏電檢測。方法是:啟動維護泵,關閉閘門,幾分鐘后觀察擴散泵的真空度是否達到6x10pa,或進行泄漏檢測。檢查接頭處是否安裝密封膠圈或密封圈是否損壞。排除潛在的漏氣后才能進行加熱,否則擴散泵油會燒壞環而不能進入工作狀態。

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